盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称盛美上海）成立于2005年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，也是具备世界先进技术的半导体设备制造商。
盛美上海集研发、设计、制造、销售功能于一体，为全球客户提供半导体设备。其主要产品涵盖单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等。
盛美上海秉持差异化竞争与创新的发展战略，凭借自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，为全球晶圆制造、先进封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、产品良率，同时降低生产成本。
盛美上海具备高新技术企业资质，连续多年荣膺中国半导体设备五强企业称号，先后承担多个国家科技重大专项项目主要课题的研发工作。公司立足自主创新，经过多年技术研发与工艺积累，成功研制出SAPS/TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术，应用于28nm及以下技术节点的晶圆清洗领域。SAPS和TEBO攻克了兆声波清洗技术在单片清洗设备上应用的两大难题；Tahoe单片槽式组合清