沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的高新技术企业。公司专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
芯源公司总部位于沈阳市浑南区，并在上海临港设有全资子公司。公司总部占地4万平方米，拥有专业的集成电路工艺开发和检测实验室以及半导体设备生产组装车间。
经过多年的技术积累与创新提升，芯源公司形成了自主知识产权体系。截至目前，公司已拥有授权专利265项，其中发明专利177项、外观设计专利36项，软件著作权76项。同时，公司主持制定了行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》《旋转式涂覆设备通用规范》。
作为国内知名的半导体装备制造企业，沈阳芯源公司所开发的涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。这些产品能适应不同工艺等级的客户需求，广泛应用于半导体生产、封装、MEMS、LED、OLED、3D - IC TSV、PV等领域，可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。
2019年12月16日，芯