江苏微导纳米科技股份有限公司(简称微导纳米,股票代码688147.SH)成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体微纳装备制造商。
公司构建了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。业务覆盖光伏、LED、集成电路、MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域。主要产品包括应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。2022年12月23日,公司成功登陆上交所科创板。
自成立以来,公司不断吸纳国内外人才,保持高水平研发投入,在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累了丰富经验。公司产品用于光伏电池片生产的薄膜沉积环节,具备出色的产能提升能力和优良的产品性能,在保障光电转换效率的同时,有效帮助下游电池片厂商大幅降低设备投资额与生产消耗成本。
在此基础上,公司持续深化对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备的开发。作为成功将量产型High - k原子层